理学顺序WDXRF波长色散X射线荧光光谱仪在半导体材料元素分析的优势

半导体行业面临着纳米级精度、复杂结构分析、高速测量精度、多样化材料集成、校准标准维护以及先进计量工具的经济高效性等方面的计量挑战。

理学顺序WDXRF波长色散X射线荧光光谱仪适用于测量材料的厚度和成分，尤其是轻元素。在半导体制造和研发领域，理学顺序WDXRF波长色散X射线荧光光谱仪已成为不可或缺的仪器，因为严格控制材料特性对于制造高性能半导体器件至关重要。

理学顺序WDXRF波长色散X射线荧光光谱仪采用高级基本参数（FP）方法，可以轻松测量 B、C、N、O、Mg 和 Al 等超轻元素，并且具有高能量分辨率。使用高功率 X 射线管（4 kW），可以为大多数元素选择多条谱线，以解决各种薄膜厚度问题，可分析亚埃至微米级的厚度。

FP 方法可以通过一个配方进行厚度和成分分析，可最多可有效分析20个堆叠层。由于 FP 方法可以考虑其他层的吸收，因此复杂化合物或多层样品的分析理学X射线荧光光谱仪的优势。